反応性スパッタリングにおける反応性ガス消費の時間変化
反応性スパッタリングにおける反応性ガス消費の時間変化
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反应溅射中反应气体消耗量的时间变化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
草野 英二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Eiji Kusano;Yu Kondo;草野 英二 ，松永 大輝;草野 英二
