Plasma analyser for plasma-assisted surface process diagnostics up to 100mbar
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DOI：
10.1016/s0042-207x(99)00173-6
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
S. Kátai;Z. Tass;L. Bori;G. Hárs;P. Deák
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kátai;Z. Tass;L. Bori;G. Hárs;P. Deák
