Initial growth kinetics of hydrogenated amorphous carbon films observed by real-time ellipsometry
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复制标题
实时椭圆光度法观察氢化非晶碳薄膜的初始生长动力学
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takayoshi Tsutsumi,Makoto Sekine and Masaru Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jumpei Kurokawa;Hiroki Kondo;Kenji Ishikawa;Takayoshi Tsutsumi,Makoto Sekine and Masaru Hori
