PMA処理によるHfO_2及びSiQ_2上のTaNメタルゲートの実効仕事関数変調
PMA処理によるHfO_2及びSiQ_2上のTaNメタルゲートの実効仕事関数変調
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PMA处理对HfO_2和SiQ_2上TaN金属栅极的有效功函数调制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島 寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
据原 誠生;末農 雄策;杉本 陽平;王 冬;中島 寛
