(110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響
(110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響
复制标题
(110) 表面形貌和晶体取向对单晶硅薄膜拉伸断裂性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
田畑修
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
上杉晃生;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修
