坪内 和夫、: "超微細完全平坦化多層配線技術" 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 第2部会 (方向性組織生成技術) 第8会研究会資料. 7-12 (1990)
坪内 和夫、: "超微細完全平坦化多層配線技術" 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 第2部会 (方向性組織生成技術) 第8会研究会資料. 7-12 (1990)
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Kazuo Tsubouchi:“超精细、完全扁平化的多层布线技术”日本学术振兴会第136届未来加工技术委员会第2小组委员会(定向结构生成技术)第8研究组材料7-12(1990)。
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