微細砥粒混合ERG研磨パッドによる研磨加工法の開発
微細砥粒混合ERG研磨パッドによる研磨加工法の開発
复制标题
开发使用混有细磨粒的ERG抛光垫的抛光方法
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安齋秀伸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柿沼康弘;中村直太;青山藤詞郎;田中克敏;安齋秀伸
