MEMS Fabrication Techniques for Three-Dimensional Origami Microstructures
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复制标题
三维折纸微结构的MEMS制造技术
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sumito Nagasawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mizuki Mori;Maria Kikuchi;Sumito Nagasawa
