接触角度の測定と素子特性によるSiC表面処理の評価

接触角度の測定と素子特性によるSiC表面処理の評価
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基于接触角测量和元件特性的 SiC 表面处理评估

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
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通讯作者:
他4名
他4名
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
鈴木啓之;畑山智亮;他4名

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