滝川浩史: "真空アークPVD法によるTiO_2膜の生成" プラズマ応用科学研究会研究講演会プロシ-ディング. 6. 47-50 (1997)
滝川浩史: "真空アークPVD法によるTiO_2膜の生成" プラズマ応用科学研究会研究講演会プロシ-ディング. 6. 47-50 (1997)
复制标题
泷川浩：《真空电弧PVD法生成TiO_2薄膜》等离子应用科学研究组研究讲座论文集。 6. 47-50 (1997)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
