高周波CF_4プラズマシミュレーションにおける電子-イオン衝突のモデリング
高周波CF_4プラズマシミュレーションにおける電子-イオン衝突のモデリング
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高频 CF_4 等离子体模拟中电子-离子碰撞的建模
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森直樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Nagao;et al.;森直樹
