垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡による摺動すきま分布の計測
垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡による摺動すきま分布の計測
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使用垂直观察椭圆光显微镜测量滑动间隙分布
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張 賀東
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下 千尋;福澤 健二;伊藤 伸太郎;張 賀東
