反応性スパッタを用いたMgAl_2O_4積層構造の作製

反応性スパッタを用いたMgAl_2O_4積層構造の作製
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反应溅射法制备MgAl_2O_4叠层结构

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
浅野秀文
浅野秀文
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
稲垣圭真;真利研一郎;藤田裕人;深谷直人;宮脇哲也;植田研二;浅野秀文

文献摘要

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