微小領域選択成長によるSi上III/V化合物半導体層の形成

微小領域選択成長によるSi上III/V化合物半導体層の形成
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微区选择性生长在Si上形成III/V族化合物半导体层

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中野 義昭
中野 義昭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
出浦 桃子;杉山 正和;星井 拓也;中根 了昌;竹中 充;菅原 聡;高木 信一;中野 義昭

文献摘要

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