芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装

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DOI:
10.13250/j.cnki.wndz.2021.04.010
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发表时间:
2021
期刊:
微纳电子技术
影响因子:
--
通讯作者:
华尔天
华尔天
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
王锦曦;闫树斌;苏浩;杨啸宇;罗云霞;郭京;华尔天

文献摘要

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