佐川克雄, 江田弘, 周立波, 清水淳: "φ300siウエハ超加工機械創作用仕上げ面粗さシミュレーション"砥粒加工学会誌. 45・12. 574-579 (2001)
佐川克雄, 江田弘, 周立波, 清水淳: "φ300siウエハ超加工機械創作用仕上げ面粗さシミュレーション"砥粒加工学会誌. 45・12. 574-579 (2001)
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佐川胜夫、枝田博、周立波、清水淳:“完成了φ300si晶圆超级加工机的表面粗糙度模拟”磨料加工学会杂志45・12(2001年)。
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