Polisher Life in Ultra-smoothness Polishing of Magnetic Disk Substrate Using New Double Side Surface Polishing Machine
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使用新型双面抛光机对磁盘基板进行超光滑抛光时的抛光机寿命
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hisaaki KUBOTA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Heiji YASUI;Kanta YAMAGUCHI;Takuya NIKI;Shingo OTSUKA;Tomohiko NAGATA;Hisaaki KUBOTA
