RTA effects on the initial formation of Si nanocrystals in SiO_2.

RTA effects on the initial formation of Si nanocrystals in SiO_2.
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RTA对SiO_2中Si纳米晶初始形成的影响。

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Proceedings of the 23^<rd> Symposium on Materials Science & Engineering Research Center of Ion Beam Technology 23
影响因子:
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通讯作者:
I.W.Boyd
I.W.Boyd
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T.Hama;T.S.Iwayama;D.E.Hole;I.W.Boyd

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