Al添加ZnOターゲットを用いたマグネトロンスパッタ におけるアーキング現象の観察
Al添加ZnOターゲットを用いたマグネトロンスパッタ におけるアーキング現象の観察
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Al掺杂ZnO靶材磁控溅射中电弧现象的观察
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田良信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉木宏之;石山謙;平田慎太郎;Y.Matsuda;H. Yoshiki;Y.Matsuda;吉木宏之;松田良信;吉木宏之;松田良信;吉木宏之;松田良信
