FEM解析による逆パンタグラフ構造を用いたXYθステージの設計
FEM解析による逆パンタグラフ構造を用いたXYθステージの設計
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利用有限元分析设计采用倒受电弓结构的 XYθ 工作台
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徳井 良多
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Sugiyama;M.A. Langthjem;K. Katayama;萩原 航;徳井 良多
