マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第3 報)-樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価-
マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第3 報)-樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価-
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利用微针阵列开发高质量、高效率的微孔加工技术（第3次报告） - 树脂薄膜通孔加工工艺的评价 -
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田隼兵,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛;三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛;柴田隆行(招待講演);柴田隆行;吉田隼兵,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護
