ICP エッチングによる狭周期シリコン金型の作製
ICP エッチングによる狭周期シリコン金型の作製
复制标题
ICP刻蚀窄周期硅模具的制作
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
野田大二,徳岡篤,服部正
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Daiji Noda;Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori;中村翔,瀬戸雅宏,山部昌;野田大二,徳岡篤,服部正
