K.Okimura: "Mass spectrometry and absorption spectroscopy for oxidation of titanium target in rf magnetron sputtering"Vacuum. 59巻. 600-605 (2000)
K.Okimura: "Mass spectrometry and absorption spectroscopy for oxidation of titanium target in rf magnetron sputtering"Vacuum. 59巻. 600-605 (2000)
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K.Okimura：“射频磁控溅射中钛靶氧化的质谱和吸收光谱”59. 600-605 (2000)。
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