森 勇藏, 垣内弘章, 芳井熊安, 安武 潔, 松本光弘, 江畑裕介: "大気圧プラズマCVD法による太陽電池用アモルファスSiの超高速成膜"精密工学会誌. 68. 1077-1081 (2002)
森 勇藏, 垣内弘章, 芳井熊安, 安武 潔, 松本光弘, 江畑裕介: "大気圧プラズマCVD法による太陽電池用アモルファスSiの超高速成膜"精密工学会誌. 68. 1077-1081 (2002)
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Yuzo Mori、Hiroaki Kakiuchi、Kumayasu Yoshii、Kiyoshi Yasutake、Mitsuhiro Matsumoto、Yusuke Ebata：“通过常压等离子体 CVD 方法超快速沉积太阳能电池中的非晶硅”日本精密工程学会杂志 68。1077-1081。 (2002)
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