Radical-enhanced ALD法によるGe-MIS構造の欠陥評価価(2);熱処理効果
Radical-enhanced ALD法によるGe-MIS構造の欠陥評価価(2);熱処理効果
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自由基增强ALD法对Ge-MIS结构的缺陷评价值（2）；
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡本 浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
成田 英史;山田 大地;福田 幸夫;岡本 浩
