Atom probe tomography of fin-structure prepared by focused ion beam direct deposition
Atom probe tomography of fin-structure prepared by focused ion beam direct deposition
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聚焦离子束直接沉积制备鳍片结构的原子探针断层扫描
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hisashi Takamizawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上耕治;清水康雄;高見澤悠;Hisashi Takamizawa
