ZEISS Focused Ion Beam Column Enabling Precision and long-term Stability for Cutting Edge Crossbeam Applications
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蔡司聚焦离子束镜筒为尖端横梁应用提供精度和长期稳定性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I. Schulmeyer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Schulmeyer
