GaAs単結晶製造装置内の熱流動可視化実験と解析
GaAs単結晶製造装置内の熱流動可視化実験と解析
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GaAs单晶制造设备中的热流可视化实验与分析
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
門脇主将,田部豊,近久武美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
タンチアヨアン;小杉直央;鳥居大地;菊川豪太;小原拓;堂賢人,菊田和重;門脇主将,田部豊,近久武美
