低周波振動援用による微細構造を持つ形状物の研磨
低周波振動援用による微細構造を持つ形状物の研磨
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利用低频振动抛光具有精细结构的异形物体
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Takaki;Y.Tomita;林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
