Y.Abe, S.Shinkai, K.Sasaki, J.Yan, K.Maekawa: "Improvement of the Crystal Orientation and Surface Roughness of Ru Thin Films by Introducing Oxygen during Sputtering"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.43,No.1. 277-280 (2004)
Y.Abe, S.Shinkai, K.Sasaki, J.Yan, K.Maekawa: "Improvement of the Crystal Orientation and Surface Roughness of Ru Thin Films by Introducing Oxygen during Sputtering"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.43,No.1. 277-280 (2004)
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Y.Abe、S.Shinkai、K.Sasaki、J.Yan、K.Maekawa：“通过在溅射过程中引入氧气来改善 Ru 薄膜的晶体取向和表面粗糙度”日本应用物理学杂志。
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