Influence of trench shape of ring-shaped hollow electrode on high-density capacitive coupled plasma
Influence of trench shape of ring-shaped hollow electrode on high-density capacitive coupled plasma
复制标题
环形空心电极沟槽形状对高密度电容耦合等离子体的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Takeuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Ohtsu;Y.Yahata;J.Kagami;Y.Kawashimo;T.Takeuchi
