Younlong Li: "Control of sputtering in a large-diameter magnetron-typed rf discharge" Proc.12th Symp.on Plasma Processing. 143-146 (1995)
Younlong Li: "Control of sputtering in a large-diameter magnetron-typed rf discharge" Proc.12th Symp.on Plasma Processing. 143-146 (1995)
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李永龙：“大直径磁控管型射频放电中的溅射控制”Proc.12th Symp.on Plasma Process。
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