The first low voltage, low noise differential silicon microphone, technology development and measurement results

The first low voltage, low noise differential silicon microphone, technology development and measurement results
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第一个低电压、低噪声差分硅麦克风，技术开发和测量结果

DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.01CH37090)
影响因子：
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通讯作者：
K. Rasmussen
K. Rasmussen
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
P. Rombach;M. Müllenborn;Udo Klein;K. Rasmussen

文献摘要

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