K.Nakamura 他2名: "Suppression of Plasma Potential Oscillation and Time-Variation of Radical Density in Alternating Ion Bombardment Method"Proc.22nd.Dry Process Symposium. 205-210 (2000)
K.Nakamura 他2名: "Suppression of Plasma Potential Oscillation and Time-Variation of Radical Density in Alternating Ion Bombardment Method"Proc.22nd.Dry Process Symposium. 205-210 (2000)
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K. Nakamura 和其他 2 人:“交替离子轰击法中等离子体电势振荡和自由基密度时变的抑制”Proc.22nd.Dry Process Symposium(2000 年)。
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