Molecular dynamic simulation of plasma doping for ultra-shallow junction
Molecular dynamic simulation of plasma doping for ultra-shallow junction
复制标题
超浅结等离子体掺杂的分子动力学模拟
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
