ダイヤモンド(111)基板ホモエピタキシャル成長における基板オフ方位及びメタン濃度依存性

ダイヤモンド(111)基板ホモエピタキシャル成長における基板オフ方位及びメタン濃度依存性
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金刚石(111)衬底上同质外延生长的衬底偏离方向和甲烷浓度依赖性

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
伊藤利道
伊藤利道
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
児玉大志;毎田修;伊藤利道

文献摘要

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