Z.J.Radzimski, O.E.Hankins, J.J.Cuomo, W.P.Posadowski, and S. Shingubara: "Optical Emission Spectroscopy of High Density Metal Plasma Formed during Magnetron Sputtering"J. Vac. Sci. Technol. B. Vol.15 No.2. 202-208 (1997)
Z.J.Radzimski, O.E.Hankins, J.J.Cuomo, W.P.Posadowski, and S. Shingubara: "Optical Emission Spectroscopy of High Density Metal Plasma Formed during Magnetron Sputtering"J. Vac. Sci. Technol. B. Vol.15 No.2. 202-208 (1997)
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Z.J.Radzimski、O.E.Hankins、J.J.Cuomo、W.P.Posadowski 和 S.Shingubara：“磁控溅射过程中形成的高密度金属等离子体的光学发射光谱”J.
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