SiとSiOxによる界面での熱伝導低下機構の解析
SiとSiOxによる界面での熱伝導低下機構の解析
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Si与SiOx界面导热系数降低机理分析
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉矢真人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
浦田空;藤井進;吉矢真人
