Influence of Pre-Oxidation of an Ir Film on Chemical Composition and Crystal Property of a PZT Film Deposited on the Ir Film by Sputtering
Influence of Pre-Oxidation of an Ir Film on Chemical Composition and Crystal Property of a PZT Film Deposited on the Ir Film by Sputtering
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Ir膜预氧化对溅射沉积PZT膜化学成分和晶体性能的影响
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Shouga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Horita;M.Shouga
