Yuji FURUKAWA and Munehiko YOKOGAWA: "The study on the anisotropic etching -Etching mechanism-" JSPE pre-print, pp165-166. (1989).
Yuji FURUKAWA and Munehiko YOKOGAWA: "The study on the anisotropic etching -Etching mechanism-" JSPE pre-print, pp165-166. (1989).
复制标题
Yuji FURUKAWA 和 Munehiko YOKOGAWA：“各向异性蚀刻的研究 - 蚀刻机制 -” JSPE 预印本，第 165-166 页。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
