T. INAMURA, S. SHIMADA 他: "Crack Initiation in Machining Monocrystalline Silicon"Annals of the CIRP. 48,1. 81-84 (1999)
T. INAMURA, S. SHIMADA 他: "Crack Initiation in Machining Monocrystalline Silicon"Annals of the CIRP. 48,1. 81-84 (1999)
复制标题
T. INAMURA、S. SHIMADA 等人：“单晶硅加工中的裂纹引发”CIRP 年鉴 48,1 (1999)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
