Kazuhiro Shirakata: "Optogalvanic Detection of Oxygen Negative Ions in Reactive Sputtering Process" Proceeding of the 2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Daejeon,Korea,September 25-27 1994. (1994)
Kazuhiro Shirakata: "Optogalvanic Detection of Oxygen Negative Ions in Reactive Sputtering Process" Proceeding of the 2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology,Daejeon,Korea,September 25-27 1994. (1994)
复制标题
Kazuhiro Shirakata：“反应溅射过程中氧负离子的光电检测”第二届亚太等离子体科学与技术会议论文集，韩国大田，1994 年 9 月 25-27 日。（1994 年）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
