采用标准微电子工艺制作具有各种轮廓特征的光学微结构

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DOI:
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发表时间:
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期刊:
激光与红外
影响因子:
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通讯作者:
李纪赛
李纪赛
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
张新宇;陈胜斌;李纪赛

文献摘要

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