高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)
高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)
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高温退火溅射 AlN 上 MOVPE 生长 AlN 的阴极射线荧光评价（2）
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秩父 重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
粕谷 拓生;嶋 紘平;正直 花奈子;上杉 謙次郎;小島 一信;上殿 明良;三宅 秀人;秩父 重英
