Sputtering Deposition Using Several Kinds of Mixture Powder Targets For Elemental Gradiented Functional Thin Film
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复制标题
几种混合粉末靶材溅射沉积元素梯度功能薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroharu Kawasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋山唯;中島雅子;冨澤奏子・御田成顕・椎原春一;岡﨑隼人，大前暁政;Hiroharu Kawasaki;進藤明彦，西山覚，高橋真，吉田健三，杉山浩一;Kazuhiko Nunokawa;中島雅子;Hiroharu Kawasaki
