スピンコータ内における回転円板から飛散する液滴の挙動に関する研究
スピンコータ内における回転円板から飛散する液滴の挙動に関する研究
复制标题
旋涂机旋转盘上液滴散射行为的研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
栗島啓聡
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
野口晃;西山潤;大瀬戸太一;宗像瑞恵;吉川浩行;栗島啓聡
