Amorphization and Solid Phase Epitaxial Growth in Ion Implanted III-V Compound Semiconductors
Amorphization and Solid Phase Epitaxial Growth in Ion Implanted III-V Compound Semiconductors
复制标题
离子注入 III-V 化合物半导体的非晶化和固相外延生长
DOI：
10.4028/www.scientific.net/ddf.95-98.989
复制
发表时间：
1993
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Hayashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Taniwaki;M. Yanaba;T. Yoshiie;Y. Hayashi
