静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブの開発

静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブの開発
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带静电执行器的两轴独立摩擦力显微镜探头的开发

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
張賀東
張賀東
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
辻弘朗;雨川洋章;福澤健二;式田光宏;伊藤伸太郎;張賀東

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