Multi-Scale Simulation System for Electrochemical Nucleation and Growth : Application to Device Fabrication

Multi-Scale Simulation System for Electrochemical Nucleation and Growth : Application to Device Fabrication
复制标题

电化学成核和生长的多尺度模拟系统:在器件制造中的应用

DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
K. Ohara and F. Asa
K. Ohara and F. Asa
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Kaneko;Y. Hiwatari;K. Ohara and F. Asa

文献摘要

相似文献