A self-running ultrasonically levitated 2D stage using flexural vibrating plates
A self-running ultrasonically levitated 2D stage using flexural vibrating plates
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使用弯曲振动板的自运行超声波悬浮二维平台
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Koyama and K. Nakamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
監修 : 藍光郎;分担佐々木実;D. Koyama and K. Nakamura
